公告
关于RTR-300卷绕镀膜设备系统中阴极等采购单元II公告
发布日期：2014-12-02
来源：上海产业技术研究院热度：
我单位（上海产业技术研究院）正研制卷对卷自动真空镀膜设备（RTR-300，），因设备设计与配置需求，先公开征询定制加工的供应商。
本单位将根据公开、公平、公正原则，采用对产品性价比、客户评价和售后服务质量相结合的比较方式，来选择供应商。定制采购内容主要包括以下几个部分：
本单位将根据公开、公平、公正原则，采用对产品性价比、客户评价和售后服务质量相结合的比较方式，来选择供应商。定制采购内容主要包括以下几个部分：
| 编号 | 内容 | 要求 | 数量 | 单位 |
| 1 | 平面阴极 |
1. 阴极长度550 mm，宽度190mm，高度90mm； 2. 靶材长度500mm，宽度127mm； 3. 阴极靶通过支架安装在移动门上，方便更换靶材和清洗，冷却水、电和工艺气体通过波纹管连接到真空室外； 4. 阴极磁阵采用7条磁场设计方案，增加水平磁场分布，材料利用率达到40%以上； 5. 在300mm有效均匀区内，均匀性优于±3%； |
2 | 套 |
| 2 | 屏蔽罩 | 与阴极尺寸匹配 | 1 | 套 |
| 3 | 阳极层离子源驱动电源 |
1. 该离子源电源是用于本公司阳极层离子源驱动电源 2. 电源输出模式：脉冲直流、频率（40KHz）、恒电流控制 3. 控制参量：占空比/电流 4. 电源输入：380V/50Hz/三相 5. 输出功率：6 KW 6. 电源效率：>80% 7. 最高输出工作电压：2000V 8. 最大输出工作电流：3A 9. 最小起始调节电流：100 mA 10. 恒流控制精度：<2% 11. 电源接地：电源正极接离子源，负极接地。 12. 输入端子：安装在后面板，端子板 13. 输出端子：安装在后面板，端子板 14. 具有过流和过压保护 15. 具有抑制弧光放电及保护功能(抑弧电压点30V) 16. 电源远程控制：远程控制电源的开关，远控转换开关置于后面板，+10V电位信号远程控制电源开关，遇紧急情况通过电源面板开关可关闭电源。 |
1 | 套 |
| 4 | 平面阴极控制电源 |
1. 电源功率范围：10KW 2. 输入电源：AC380V 三相四线制 50-60Hz ±10% 3. 输出方式：交流正弦波 4. 输出频率：40KHz 5. 输出电压：空载1000V[有效值] 6. 灭弧时间：≤3uS 7. 输出电流稳定率：0.25% 8. 冷却方式：2-10KW 风冷 10-120KW 水冷 9. 使用环境：环境温度 0-40℃；境湿度 相对湿度 ≤ 85%；空气清洁 无粉尘 无腐蚀性易燃气体 通风良好 10. 冷却水：清洁 不含矿物质及其它可溶性物质；水温 20-30℃；压力 0.15±0.05Mpa
|
2 | 套 |
采购方式：1）以上部分不可以分别报价，需要统一报价；
2）如有意向，请提供以下资料密封后送交我单位或扫描后发至相关负责人邮箱： ①公司简介和营业执照复印件；②应征产品技术说明和报价单；③联系方式等资料并加盖公章。
我单位将根据有关规定则有选择供货商，所有资料我单位不负责退回。
联系地址：上海产业技术研究院
上海浦东新区金苏路200号F楼2楼 邮箱：shuizj@sohu.com
联系人： 陈老师，张老师
电话:021-62233676 021-62232054
截止日期： 2014年12月10日（以实际收到应证书时间为准），截止日期后本单位概不受理
2）如有意向，请提供以下资料密封后送交我单位或扫描后发至相关负责人邮箱： ①公司简介和营业执照复印件；②应征产品技术说明和报价单；③联系方式等资料并加盖公章。
我单位将根据有关规定则有选择供货商，所有资料我单位不负责退回。
联系地址：上海产业技术研究院
上海浦东新区金苏路200号F楼2楼 邮箱：shuizj@sohu.com
联系人： 陈老师，张老师
电话:021-62233676 021-62232054
截止日期： 2014年12月10日（以实际收到应证书时间为准），截止日期后本单位概不受理
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